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02). 一种用于稀释制冷机的多功能集成式气体控制系统

【专利摘要】
本发明公开了一种用于稀释制冷机的多功能集成式气体控制系统,具体涉及制冷及低温工程领域,包括液氮冷阱、气体缓冲罐、集成阀箱、稀释制冷内循环管路、隔膜压缩机、罗茨泵、涡轮分子泵和真空抽吸泵组组成。该系统使用高度集成的阀箱模块,负责对稀释制冷循环启动、运行、停机复温等不同阶段实施气路控制;本发明针对不同温区和不同压力的气路进行流导优化和减少热量损失,并确保从室温至极低温全温区的高气密性,提高了稀释制冷机的可靠性和自动化程度,对稀释制冷系统的实用化具有非常积极的意义。
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沪公网安备 31011402009347号